Реєстраційний номер
0210U003420,
0107U002295
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Теоретичні та експериментальні дослідження плазмових методів синтезу композиційних наноструктур з прогнозованими параметрами
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Фареник Володимир Іванович,
Дата реєстрації
03-02-2010
Організація виконавець
Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України
Опис етапу
Досліджено фізико-технологічні аспекти синтезу нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N методами іонно-променевого розпилення та іонно-стимульованого осадження і оптимізації процесів отримання нанорозмірних функціональних плівок та наногетероструктур з наперед заданими властивостями. Створена методика синтезу ультратонких (? 5 нм) суцільних плівок нітридів та оксінітридів металів за допомогою слаботокового іонно-променевого розпилення та осадження у контрольованому вакуумному середовищі. Розроблена мікропроцесорна система синхронізації та управління процесом іонно-стимульованого синтезу нанорозмірних плівкок та наноструктур. Проведено комплексне дослідження нанорозмірних плівок Ti-O-N, одержаних методом іонно-променевого розпилення, та межі розподілу плівка-підкладка методом ренгенівської фотоелектронної спектроскопії. Детально показано вплив температури підкладинки під час іонно-променевого синтезу та температурного відпалу на хімічний стан та дифузійні властивості структур Ti-O-N/Si. Проведено дослідження радіаційно-індукованих процесів накопичення елементів залишкового вакуумного середовища в плівках Cr-O-N нанорозмірної товщини, отриманих методом іонно-стимульованого осадження з енергією пучка асистуючих іонів азоту E=30 кеВ.
Опис продукції
Автори роботи
Береснєв Вячеслав Мартинович
Кропотов Олександр Юрійович
Приходько Володимир Іванович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
