Реєстраційний номер
0211U006133,
0109U001323
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Створення, дослідження та технологічна апробація кластерної іонно-плазмової системи для синтезу і обробки мікро- та наноструктур
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Фареник Володимир Іванович,
Дата реєстрації
22-02-2011
Організація виконавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Опис етапу
Об'єкт дослідження: макетний зразок багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи з параметрами, що відповідають потребам промислової експлуатації. Мета роботи: розробка багатофункціональної іонно-плазмової технологічної системи нової генерації для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур. Метод дослідження: вимірювання параметрів магнетронного розряду та енергоаналіз потоків заряджених частинок. Представлено результати розробки, створення та технологічної апробації макетного зразку багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи, яка призначена для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур. Принциповою новизною створеної кластерної системи є поєднання в одній вакуумно-плазмовій установці декількох сумісних джерел потоків металів, іонів, хімічно-активних частинок для послідовної або одночасної комплексної обробки мікро- та наноструктур. Всі плазмові модулі можуть робити як окремо, так і одночасно при нанесенні складнокомпозиційних покриттів типу TiN, AlN, ZrN, TiO2, Al2O3, ZrO2 та їх комбінацій в складі багатошарових структур та нанокомпозитів.
Опис продукції
Призначена для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур, що широко використовуються в мікроелектроніці, машинобудуванні, оптиці, медицині..
Автори роботи
Дахов О.
Дудін С.
Зиков О.
Лісовський В.
Плетньов В.
Рафальський Д.
Фареник В.
Харченко Н.
Юнаков М.
Яковін С.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
