Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0211U006133, 0109U001323 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення, дослідження та технологічна апробація кластерної іонно-плазмової системи для синтезу і обробки мікро- та наноструктур Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 22-02-2011 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження: макетний зразок багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи з параметрами, що відповідають потребам промислової експлуатації. Мета роботи: розробка багатофункціональної іонно-плазмової технологічної системи нової генерації для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур. Метод дослідження: вимірювання параметрів магнетронного розряду та енергоаналіз потоків заряджених частинок. Представлено результати розробки, створення та технологічної апробації макетного зразку багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи, яка призначена для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур. Принциповою новизною створеної кластерної системи є поєднання в одній вакуумно-плазмовій установці декількох сумісних джерел потоків металів, іонів, хімічно-активних частинок для послідовної або одночасної комплексної обробки мікро- та наноструктур. Всі плазмові модулі можуть робити як окремо, так і одночасно при нанесенні складнокомпозиційних покриттів типу TiN, AlN, ZrN, TiO2, Al2O3, ZrO2 та їх комбінацій в складі багатошарових структур та нанокомпозитів. Опис продукції Призначена для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур, що широко використовуються в мікроелектроніці, машинобудуванні, оптиці, медицині.. Автори роботи Дахов О. Дудін С. Зиков О. Лісовський В. Плетньов В. Рафальський Д. Фареник В. Харченко Н. Юнаков М. Яковін С. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити