Реєстраційний номер
0211U007963,
0110U002292
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Дослідження розрядів низького тиску для розробки обладнання та технології імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Денбновецький Станіслав Володимирович,
Дата реєстрації
07-12-2011
Організація виконавець
Національний технічний університет України "КПІ", навчально-науковий комплекс "Інститут прикладного системного аналізу"
Опис етапу
Обґрунтована перспективність використання імпульсного електронно-променевого випаровування для нанесення композитних наноструктурованих покриттів, при цьому для формування електронного променя використані джерела електронів високовольтного тліючого розряду, а керування параметрами пучка здійснюється за допомогою допоміжних низьковольтних розрядів. Проведено експериментальне дослідження технологічних процесів термоіонного осадження покриттів із хімічних сполук методом імпульсного електронно-променевого випаровування та іонізації парогазового потоку в розрядах низького тиску. Визначені особливості технології отримання покриттів із сполук методом імпульсного термоіонного осадження з використанням джерел електронів високовольтного тліючого розряду.
Опис продукції
Науково обґрунтована та практично доказана можливість нанесення складних покриттів із хімічних сполук методом імпульсного електронно-променевого випаровування та іонізації парогазового потоку в розрядах низького тиску з використанням джерел електронів високовольтного тліючого розряду для генерації електронного пучка та низковольтних допоміжних розрядів для керування енергетичними параметрами пучка.
Автори роботи
Крижановський Валерій Іванович
Кузьмичев Анатолій Іванович
Мельник Ігор Віталійович
Мельник Віталій Гнатович
Тугай Борис Андрійович
Тугай Сергій Борисович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
