Реєстраційний номер
0212U005020,
0111U005420
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка ефективних зондових методів формування наноелектронних структур на основі легованого кремнію
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Ходаковський Микола Іванович,
Дата реєстрації
20-02-2012
Організація виконавець
Державний науково-дослідний центр "Фонон"
Опис етапу
Розроблені методи збільшення товщини одержуваного легованого кремнію та узгоджено даний процес з прикладанням максимально можливої для конкретного скануючого зондового літографа напруги, що подається на зонд. Досліджено вплив різних режимів роботи кантилеверів на процеси локального анодного окислення. За рахунок використання оптимальних режимів локального анодного окислення доведена можливість отримування локальних оксидних областей з лінійними розмірами порядку 3,0 нм. Для досягнення високої продуктивності формування нанорозмірних структур випробуваний метод локального анодного окислення як потужний та багатофункціональний метод для формування нанорозмірних пристроїв за допомогою атомно-силового літографу, наприклад запам'ятовуючих пристроїв з високою щільністю запису інформації. В процесі досліджень розроблені методи з підвищення роздільної здатності процесу локального анодного окислення за рахунок вивчення впливу на процеси локального анодного окислення різних значень підвищеного анодного потенціалу для зонду атомно-силового літографу. Визначений ступінь кореляції параметрів створених наноструктур із значеннями загального опору системи, а також визначено рівень оптимізації параметрів імпульсу прикладеної напруги і забезпечення необхідної відносної вологості зовнішнього середовища. З використанням одержаних оптимальних режимів локального анодного окислення для поверхні легованого кремнію були отримані локальні області оксиду з граничними значеннями лінійних розмірів.
Опис продукції
Методика одержання наноструктур з легованого кремнію з урахуванням особливостей комплексної модифікації поверхні напівпровідника, в частині отримання локальних оксидних областей шляхом використання оптимальних режимів локального зондового окислення та підвищення роздільної здатності методу при застосуванні імпульсів напруги, що подаються на кантилевери з протилежною полярністю.
Автори роботи
Артеменко Л.А.
Будник В.М.
Возненко Л.О.
Воронько А.О.
Голуб В.В.
Корж В.І.
Кубрак К.В.
Ларкіна А.С.
Малкуш І.Ф.
Матвієнко О.В.
Ходаковський М.І.
Черепаха В.В.
Шевчук Б.М.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
