Реєстраційний номер
0213U002173,
0112U005305
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення нанотехнологій молекулярно-променевої епітаксії та сфокусованих іонних пучків для їх використання на виробництві нанотехнологічного комплексу "НаноФАБ" (друга черга)
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Галстян Геворк Гагікович,
Дата реєстрації
16-01-2013
Організація виконавець
Публічне акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука"
Опис етапу
Розроблено функціональну схему камери сфокусованих іонних пучків (СФІП) нанотехнологічного комплексу "НаноФаб". На основі проведених розрахунків параметрів пристрою позиціонування зразків та маніпулятора транспортування зразків для модуля СФІП були виготовлені макети пристрою на базі двохкоординатного п'єзоприводу та маніпулятор. Створено лабораторний стенд для тестування параметрів камери СФІП. Розроблено координатно-зв'язану прецизійну систему позиціонування зразків в модулях СФІП та скануючої зондової мікроскопії (СЗМ). Проведені успішні випробовування по модифікації кремнієвих пластин за шаблоном в камері СФІП, їх транспортування в СЗМ аналітичну камеру та дослідження зондовими методами (контактні і напівконтактні методики атомно-силової мікроскопії) модифікованих ділянок, а також комплексні випробування НТК у складі чотирьох високовакуумних модулів. Розроблені та відпрацьовані технологічні процедури по підготовці до роботи модуля СФІП та окремо джерела іонів колони СФІП, відкачування та відпалу модуля СФІП, заміни джерела іонів.
Опис продукції
В ході проведення робіт по НТР на базі високовакуумного чотирьохмодульного нанотехнологічного комплексу "НаноФаб-100" були розроблені нанотехнології для проведення процесів послідовної модифікації поверхні твердотільних зразків з використанням сфокусованих іонних пучків (нанолокальне травлення та іонна різка), а також для проведення діагностики та контролю методами скануючої зондової мікроскопії по всій поверхні зразків.
Автори роботи
Євсюков А.М.
Євтух А.А.
Анікеєв В.В.
Білоголовський М.О.
Бонковський Е.Л.
Ворона С.П.
Джежеря Ю.І.
Журавльов Б.Х.
Круковський С.І.
Лєпєєва Ю.В.
Лаунець В.Л.
Луценко Г.В.
Мазанко В.Ф.
Мартинюк І.Д.
Мовчан Д.М.
Мрихін І.О.
Новіков Є.І.
Подолян О.М.
Сірош В.О.
Сидорченко І.М.
Скоблік О.П.
Філатов С.А.
Філатова В.С.
Шатернік В.Є.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
