Реєстраційний номер
0213U004553,
0112U000894
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка та дослідження газорозрядного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Денбновецький Станіслав Володимирович,
Дата реєстрації
16-12-2013
Організація виконавець
Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ"
Опис етапу
Проведено аналіз властивостей високовольтного тліючого та вакуумно-дугового розрядів та визначено особливості розробки на основі пристроїв цих розрядів технологічного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів в контрольованому за тиском та складом газовому середовищі. З урахуванням визначених особливостей технологічного процесу імпульсного іонно-плазмового осадження покриттів розоблено газорозрядний електронно-променевий комплекс, до складу якого входить газорозрядна електронна гармата тріодного типу потужністю 10 кВт, вакуумно-дуговий іонізатор пари та система автоматичного керування енергетичними та часовими параметрами газорозрядної гармати. Розроблений газорозрядний комплекс забезпечує можливість імпульсного іонно-плазмового осадження покриттів в діапазоні параметрів, які відповідають вимогам технології осадження покриттів методом імпульсного електронно-променевого випаровування.
Опис продукції
З використанням розроблених в роботі математичних моделей створене газорозрядне обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів із хімчних сполук, до складу якого входить тріодна електронна гармата високовольтного тліючого розряду з холодним катодом, дуговий іонізатор парогазового потоку та система автоматичного керування параметрами гармати в імпульсному режимі роботи.
Автори роботи
Кузьмичев Анатолій Іванович
Мельник Ігор Віталійович
Мельник Віталій Гнатович
Тугай Борис Андрійович
Тугай Сергій Борисович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
