Реєстраційний номер
0213U004700,
0113U005251
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Лінійні та нелінійні оптичні властивості нанокомпозитних середовищ на основі кремнію і карбіду кремнію
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Семенов Олександр Володимирович,
Дата реєстрації
23-12-2013
Організація виконавець
Інститут монокристалів НАН України
Опис етапу
Визначено умови формування нанокристалічної фази кубічного карбіду кремнію і кремнію. При температурі 700-1000гр.С у плівці ростуть нанокристали кубічного політипу карбіду кремнію сумісно з нанокристалами кремнію. Розміри SiC і кремнію кристалітів залежать від температури підкладки. При температурах підкладки більше 1100гр.С починається інтенсивний вихід кремнію зі зростаючої плівки карбіду кремнію.Спектри поглинання плівок політипу нанокристалічного SiC і Si при кімнатній температурі демонструють максимуми поглинання
Опис продукції
.Визначено умови формування нанокристалічної фази кубічного карбіду кремнію і кремнію. В умовах прямого осадження іонів вуглецю й кремнію при t процесу в діапазоні від 700 до 1000гр.С у плівці ростуть нанокристали кубічного політипу карбіду кремнію сумісно з нанокристалами кремнію .Розміри SiC і кремнію кристалітів залежить від t підкладки.При температурі підкладки більше 1100гр.С починається інтенсивний відхід кремнію зі зростаючої плівки карбіду кремнію. Спектри поглинання плівок політипу нанокристалічного SiC і Si при кімнатній температурі демонструють максимум поглинання
Автори роботи
Лопін Олександр Володимирович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02