Реєстраційний номер
0213U005114,
0112U006695
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка ростового обладнання для сублімаційного вирощування монокристалів карбіду кремнію
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Комар Віталій Корнійович,
Дата реєстрації
11-03-2013
Організація виконавець
Інститут монокристалів НАН України
Опис етапу
Розроблена та виготовлена установка для відтворення технологічного процесу сублімаційного вирощування монокристалів карбіду кремнію. Проведені випробування сублімаційної камери, вакуумної системи та системи резистивного нагрівання показали, що виготовлення установки має відповідні технічні характеристики для формування в кристалізаційній зоні необхідного температурного поля, в якому температура буде рівномірно змінюватись від 1700гр.С до 2300гр.С з градієнтом, близьким до 20гр.С/см.
Опис продукції
Розроблена та виготовлена установка для відтворення технологічного процесу сублімаційного вирощування монокристалів карбіду кремнію. Проведені випробування сублімаційної камери, вакуумної системи та системи резистивного нагрівання показали, що виготовлена установка має відповідні технічні характеристики для формування в кристалізаційній зоні необхідного температурного поля, в якому темпер. буде рівномірно змінюватись від 1700гр С до 2300гр.С з градієнтом близьким до 20гр.С
Автори роботи
Коваленко Назар Олегович
Наливайко Дмитро Петрович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
