Реєстраційний номер
0213U007748,
0108U004567
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення і створення технологій вирощування нанокристалічних багатокомпонентних структур енергонезалежної пам'яті для інформаційних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Литовченко Володимир Григорович, Лісовський Ігор Петрович,
Дата реєстрації
19-06-2013
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Звіт по НДР: 17 сc., 1 частина, 3 рисунки, 4 таблиці , перелік публікацій за проектом. В результаті виконання проекту була розроблена та оптимізована технологія створення багатокомпонентних структур на основі Me-ncSi/SiOх-Si, Me-ncSi/SiO2-Si та Me-ncSi/ZrO2-Si, до складу яких входять кремнієві нанокристали як середовище для зберігання інформації. Застосування цієї технології дозволило розробити, створити та дослідити макети енергонезалежної нанокристалічної флеш пам'яті надвисокої ємності для їх наступного використання в інформаційних системах новітнього покоління. Ключові слова: технологія, пам'ять, багатокомпонентна структура, кремнієві нанокристали, матриця.
Опис продукції
Для створення нанокристалічних багатокомпонентних (Me-ncSi/SiOх-Si, Me-ncSi/SiO2-Si) структур використовується підхід термостимульованої самоорганізації, який полягає в нанесенні на підкладку плівки нестехіометричного оксиду кремнію і наступної термообробки в діапазоні температур 1000 - 1100 оС в інертному середовищі, причому методом нанесення плівок оксиду кремнію обране іонно-променеве розпилення кремнію в середовищі, яке містить кисень. За допомогою означеної технології були розроблені та виготовлені макети нанокристалічних багатокомпонентних структур енергонезалежної пам'яті.
Автори роботи
Євтух Анатолій Антонович
Батусь Ігор Олегович
Войтович Марія Володимирівна
Злобін Сергій Олександрович
Лісовський Ігор Петрович
Литовченко Володимир Григорович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
