Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0214U000982, 0114U001616 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

"Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" 5 етап "Розробка та дослідження твердофазної імерсійної фотолітографії на основі халькогенідних фоторезистів. Підготовка заключного звіту".

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук

Дата реєстрації

03-12-2014

Організація виконавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис етапу

На основі реверсивних і перехідних фотостимульованих змін структури шарів халькогенідних стекол розроблено технологію імерсійної (рідинної та твердофазної) інтерференційної нанолітографії для формування періодичних наноструктур з просторовою частотою до 8000 мм-1 (критичний розмір - менше 100 нм). Зокрема, спроектовано та зібрано оптичні схеми для реалізації розробленого технологічного методу. Використовуючи результати комп'ютерного моделювання процесів експонування та післяекспозиційної обробки оптимізовано величини експозиції та параметри селективного травлення фоторезиста. Виготовлені експериментальні зразки періодичних наноструктур та досліджено їх характеристики. Основне застосування розробленої технології може бути знайдено при виробництві оптичних елементів для спектральних приладів, оптичних сенсорів, поляризаторів, поляризаційних фільтрів, в інтегральної оптиці і т.п..

Опис продукції

Вперше в світі на основі реверсивних і перехідних фотостимульовані змін структури шарів халькогенідних стекол розроблено технологію імерсійної (рідинної та твердофазної) інтерференційної нанолітографії для формування періодичних наноструктур з просторовою частотою до 8000 мм-1 (критичний розмір - менше 100 нм). Основне застосування розробленої технології може бути знайдено при виробництві оптичних елементів для спектральних приладів, оптичних сенсорів, поляризаторів, поляризаційних фільтрів, в інтегральної оптиці і т.п.

Автори роботи

Данько Віктор Андрійович
Жовмір Сергій Сергійович
Луканюк Марія Василівна
Минько Віктор Іванович
Михайловська Катерина Василівна
Сопінський Микола Вікторович
Шепелявий Петро Євгенович

Додано в НРАТ

2020-04-02