Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U006158, 0110U006270 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка іонно-плазмових технологій формування кремнієвих нанокомпозитів при введенні домішок стимулюючих процеси самоорганізації. Назва етапу роботи Керівник роботи Євтух Анатолій Антонович, Дата реєстрації 13-02-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Мета проекту (етапу): дослідження впливу розмірів нанокристалів, їх густини, параметрів границь розділу та діелектричної матриці на електрофізичні та оптичні властивості нанокомпозитних плівок SiO2(Si), що містять нанокристали Si в діелектричній матриці SiO2. Проведені комплексні дослідження структурних властивостей збагачених кремнієм плівок SiOх отриманих методами іонно-плазмового розпилення (IPS) та плазмохімічного осадження з парогазової фази (PE CVD) в залежності від технологічних режимів. Встановлено, що зміна співвідношення робочих газів O2/Ar для IPS та N2O/SiH4 для PE CVD методів приводить до керованої зміни вмісту Si у вихідних SiOx плівках при їх отриманні. Виявлено зсув піку фотолюмінесценції (ФЛ) в низькоенергетичну область, який пояснюється зміною (збільшенням) діаметру нанокристалічних включень в нанокомпозитній SiO2(Si) плівці зі збільшенням вмісту надлишкового кремнію в вихідних SiOх плівках. Змінюючи співвідношення робочих газів N2O/SiH4 в процесі осадження методом PE CVD можна змінювати діаметр нанокластерів в SiO2(Si) плівці, що приводить до зсуву піку ФЛ. Виявлена залежність максимальної ємності МДН структури від частоти тестуючого сигналу та швидкості розгортки лінійної напруги в режимі акумуляції приповерхневої області напівпровідника. Із зменшенням частоти тестуючого сигналу та збільшенням швидкості розгортки лінійної напруги, величина максимальної ємності МДН структури збільшується. Опис продукції Отримані прнинципово нові наукові дані про властивості і параметри нанокластерних композитів на основі кремнію методом іонно-плазмового розпилення Автори роботи Євтух Анатолій Антонович Братусь Олег леонідович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити