Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008064, 0108U003194 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення методів імпульсної лазерної спектроскопії та устаткування для контролю атомного складу матеріалів та структур наноелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Федоренко Леонід Леонідович, Тетьоркін Володимир Володимирович, Дата реєстрації 27-06-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Звіт по НДР: 21 с., 6 частин, 5 рисунків, 1 Таблиця , 4 посилань. Метою даного проекту є розробка методики та створення дослідного зразка установки лазерної імпульсної багатоканальної спектроскопії (ЛІБС) з кроком дискретності по глибині досліджуваного шару <10 нм та порогом виявлення 10 ppm (10-3%). Система ЛІБС призначена для діагностики компонентного складу субмікронних шарів твердого тіла (напівпровідників, металів, наноструктур і композитних матеріалів) із нанометровою просторовою роздільною здатністю для визначення профілів атомних концентрацій складових хімічних елементів (Si, Ge, SiC, Au, Ag, Cu, Al, і т.і.) твердих тіл на субмікронних глибинах. У порівнянні з існуючими аналогами, створений в даній НДР комплекс ЛІБС при співставній величині порогу виявлення N/N має значно більшу роздільну здатність по глибині h 10 нм при меншій орієнтовній вартості. Розроблені в проекті методики ЛІБC визначення відносного та абсолютного вмісту концентрації Nі хімічного елементу у випарованій фракції субмікронного приповерхневого шару матеріалу мають наступні переваги: можливість одночасної реєстрації великої кількості різних елементів; відносна низька вартість у порівнянні з існуючими прототипами (ВІМС, Оже-спектроскопія, мас-спектрометрія та ін.); не потребують попередньої спеціальної підготовки зразків та дозволяють прискорити елементний аналіз його складових, а в порівнянні з існуючими аналогами мають значно вищу роздільну здатність по глибині; відсутність потреби в високовакуумних камерах; малу енерговитратність; невисоку вимогливість до спектральної роздільної здатності реєструючої системи; можливість реалізації дистанційного аналізу речовини;мала кількість речовини, необхідної для аналізу за один лазерний імпульс m < 1 мкг. Практична значимість проекту полягає у розробці методики експресного аналізу компонентного складу напівпровідників та інших твердих тіл з високою просторовою роздільною здатністю, що дає можливість використання розробленої методики у напівпровідниковій наноелектроніці. Результати НДР можуть бути використані в таких сферах: електронна промисловості, геологічна розвідка корисних копалин, охорона навколишнього середовища, наука, медицина. ЛАЗЕРНА ІМПУЛЬСНА СПЕКТРОСКОПІЯ, НАПІВПРОВІДНИКОВА НАНОЕЛЕКТРОНІКА, НАПІВПРОВІДНИКОВІ МАТЕРІАЛИ, КОМПОНЕНТНИЙ СКЛАД Опис продукції Розробка методики та створення дослідного зразка установки лазерної імпульсної багатоканальної спектроскопії з кроком дискретності по глибині досліджуваного шару 10 нм та порогом виявлення 10 ppm (10-3%). Автори роботи Бекетов Г.В. Ліннік Л.Ф Наумов В.В. Тетьоркін В.В. Федоренко Л.Л. Юсупов М.М. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити