Реєстраційний номер
0214U008852,
0114U005243
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Вирощування нанодротин кремнію методом CVD та визначенння їх геометричних параметрів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
19-11-2014
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Розглянуто та проаналізовано технологічні особливості методу хімічного нелектролітичного травлення, який придатний для створення впорядкованих масивів нанониток кремнію з потрібними розмірами та густиною Показано, що у цьому методі використовується шаблон з двовимірних частинок колоїдного кремнезему, на який наносять шар з благородного металу, що слугує каталізатором процесу травлення.
Опис продукції
Розроблено метод хімічного нелектролітичного травлення, який придатний для створення впорядкованих масивів нанониток кремнію з потрібними розмірами та густиною. Показано, що у цьому методі використовується шаблон з двовимірних частинок колоїдного кремнезему, на який наносять шар з благородного металу, що слугує каталізатором процесу травлення.
Автори роботи
Гарасим Ірина Данилівна
Дружинін Анатолій Олександрович
Корецький Роман Миколайович
Нічкало Степан Ігорович
Островський Ігор Петрович
Ховерко Юрій Миколайович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
