Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008852, 0114U005243 , Науково-дослідна робота Назва роботи Вирощування нанодротин кремнію методом CVD та визначенння їх геометричних параметрів Назва етапу роботи Керівник роботи Дружинін Анатолій Олександрович, Дата реєстрації 19-11-2014 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Розглянуто та проаналізовано технологічні особливості методу хімічного нелектролітичного травлення, який придатний для створення впорядкованих масивів нанониток кремнію з потрібними розмірами та густиною Показано, що у цьому методі використовується шаблон з двовимірних частинок колоїдного кремнезему, на який наносять шар з благородного металу, що слугує каталізатором процесу травлення. Опис продукції Розроблено метод хімічного нелектролітичного травлення, який придатний для створення впорядкованих масивів нанониток кремнію з потрібними розмірами та густиною. Показано, що у цьому методі використовується шаблон з двовимірних частинок колоїдного кремнезему, на який наносять шар з благородного металу, що слугує каталізатором процесу травлення. Автори роботи Гарасим Ірина Данилівна Дружинін Анатолій Олександрович Корецький Роман Миколайович Нічкало Степан Ігорович Островський Ігор Петрович Ховерко Юрій Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити