Реєстраційний номер
0214U008998,
0110U004738
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення та розвиток сертифікованих методик мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Романюк Борис Миколайович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
22-12-2014
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Проведено аналіз факторів, які призводять до спотворення профілів розподілу домішок при вимірюванні багатошарових нанорозмірних структур. Визначено оптимальні параметри розпилення для отримання максимальної роздільної здатності по глибині. Розроблено методику проведення вимірювань товщинного розподілу елементного складу та товщини багатошарових покриттів методом мас-спектрометрії вторинних нейтральних часток. Розроблено методику вимірювань кількості шарів та товщини перехідної міжфазної області в багатошарових покриттях AlGaN/GaN. Проведено аналіз похибок вимірювань концентрації домішок в нанометрових періодичних структурах та товщини шарів. Методики атестовано Всеукраїнським державним науково-виробничим центром стандартизації, метрології, сертифікації та захисту прав споживачів (ДП Укрметрстандарт).
Опис продукції
Проведено аналіз факторів, які призводять до спотворення профілів розподілу домішок при вимірюванні багатошарових нанорозмірних структур. Визначено оптимальні параметри розпилення для отримання максимальної роздільної здатності по глибині. Розроблено методику проведення вимірювань товщинного розподілу елементного складу та товщини багатошарових покриттів методом мас-спектрометрії вторинних нейтральних часток. Розроблено методику вимірювань кількості шарів та товщини перехідної міжфазної області в багатошарових покриттях AlGaN/GaN. Проведено аналіз похибок вимірювань концентрації домішок в нанометрових періодичних структурах та товщини шарів. Методики атестовано Всеукраїнським державним науково-виробничим центром стандартизації, метрології, сертифікації та захисту прав споживачів (ДП Укрметрстандарт). Отримано роздільну здатність методу по глибині не гірше 1 нм. Вивчено можливості використання моно- і кластерних іонів різних знаків. Це дозволило реєструвати не лише атомарні, але й кластерні іони, що н
Автори роботи
Мельник В.П.
Мусаєв С.М.
Оберемок О.С.
Попов В.Г.
Романюк Б.М.
Хацевич І.М.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
