Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U004280, 0112U000362 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів екстракції з плазми суміщеного іонно-електронного потоку для синтезу і модифікації наноструктур Назва етапу роботи Керівник роботи Дудін Станіслав Валентинови, Дата реєстрації 20-02-2015 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Опис етапу Експериментально досліджено ефективність екстракції іонів та електронів у джерелі з діаметром пучка 250 мм. У порівнянні з результатами дослідження іонно-оптичних систем визначені закони подібності. Розроблено рекомендації щодо конструкції промислового джерела іонно-електронного потоку з керованим співвідношенням струмів іонів та електронів. Отримано характеристики впливу комбінованих іонно-плазмових потоків на структурно-фазові особливості наноструктурованих тонких плівок. Опис продукції Високоефективне джерело іонів для керування процесами формування наноструктурованих елементів. Автори роботи Дудіна Наталія Григорівна Казачкова Наталія Олександрівна Кропотов Олександр Юрійович Мірошниченко Григорій Олександрович Огієнко Олексій Степанович Редванський Віктор Михайлович Рибалко Юрій Вікторович Сребнюк Павло Анатолійович Турбін Петро Васильович Удовицький Віктор Григорович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити