Реєстраційний номер
0218U001431,
0117U004855
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Фізичні принципи іонно-плазмового синтезу та керування властивостями наноструктурних складнокомпозиційних покриттів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лісовський Валерій Олександрович,
Дата реєстрації
13-03-2018
Організація виконавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
Опис етапу
У даній роботі проведено дослідження параметрів синтезу тонких плівок диборида танталу, отриманих в системах ВЧ і ПС-магнетронного розпорошення. Зроблено порівняльний аналіз енергетичних умов синтезу цих плівок. Показано, що в залежності від методу використовуваного для отримання плівки (ВЧ або ПС), істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, які беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки, що призводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного з текстурою зростання перпендикулярною площині (001).
Опис продукції
Зроблено порівняльний аналіз енергетичних умов синтезу плівок диборида танталу, отриманих в системах ВЧ і ПС магнетронного розпорошення. Показано, що в залежності від методу використовуваного для отримання плівки (ВЧ або ПС), істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, які беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки, що призводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного з текстурою зростання перпендикулярною площині (001).
Автори роботи
В.О. Лісовський
М.М. Юнаков
О.В. Зиков
О.М. Дахов
С.В. Дудін
С.Д. Яковін
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
