Реєстраційний номер
0218U005179,
0114U001890
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення і створення технологій вирощування нанокристалічних багатокомпонентних структур енергонезалежної пам'яті для інформаційних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Литовченко Володимир Григорович, Лісовський Ігор Петрович,
Дата реєстрації
08-06-2018
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Опис етапу
Звіт по НДР: 11 сc., 1 частина, 5 таблиць , перелік публікацій за проектом. В результаті виконання проекту була розроблена технологія створення нанокристалічних багатокомпонентних систем енергонезалежної пам'яті надвисокої ємності, основана на процесах іонно-плазмового напилення оксиду або оксинітриду кремнію і наступному формуючому відпалі, модернізоване існуюче технологічне обладнання, створений вимірювальний стенд для визначення електрофізичних характеристик багатошарових нанокристалічних систем. Розроблені елементи пам'яті мають значні переваги над існуючими: значно меншу (від 2 до 4 разів) амплітуду імпульсів запису/стирання заряду, суттєво більшу деградаційну стійкість (до 10е10 циклів) та помітно більший час енергонезалежного зберігання інформації. Ключові слова: технологія, пам'ять, багатокомпонентна структура, оксинітрид кремнію, нанокристалічна система, інформація.
Опис продукції
ДВ основі створення багатошарових нанокристалічних систем лежить процес термостимульованої самоорганізації, який полягає в нанесенні на підкладку плівки нестехіометричного оксиду або оксинітриду кремнію методом іонно-плазмового напилення з наступним формуючомим відпалом. Використання даної методики дозволило розробити елементи пам'яті, які мають суттєві переваги над існуючими аналогами. В результаті виконання проекту було розроблено технологію створення нанокристалічних багатокомпонентних систем енергонезалежної пам'яті надвисокої ємності, модернізовано існуюче технологічне обладнання, створено вимірювальний стенд для визначення електрофізичних характеристик багатошарових нанокристалічних систем.
Автори роботи
Євтух Анатолій Антонович
Бpатусь Ігор Олегович
Войтович Марія Володимирівна
Злобін Сергій Олександрович
Лісовський Ігор Петрович
Литовченко Володимир Григорович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
