Реєстраційний номер
0219U100595,
0117U004875
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
20-02-2019
Організація виконавець
Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України
Опис етапу
Отримані результати розрахунків параметрів плазми. Розроблено реактивний модуль іонно-плазмового травління. Отримані експериментальні вимірювання параметрів плазми в розрядній камері модуля плазмохімічного та реактивного іонно-плазмового травління. Отримані зразки сформованих нанорозмірних елементів для електроніки та їх фізико-технічні характеристики.
Опис продукції
Розроблена технологія формування наноструктурованих елементів методом реактивного іонно-плазмового синтезу в багатофункціональній кластерній установці на основі модулів магнетронного, ВЧ індукційного та ВЧ ємнісного типів.
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
