Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U100595, 0117U004875 , Науково-дослідна робота Назва роботи Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 20-02-2019 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України Опис етапу  Отримані результати розрахунків параметрів плазми. Розроблено реактивний модуль іонно-плазмового травління. Отримані експериментальні вимірювання параметрів плазми в розрядній камері модуля плазмохімічного та реактивного іонно-плазмового травління. Отримані зразки сформованих нанорозмірних елементів для електроніки та їх фізико-технічні характеристики. Опис продукції Розроблена технологія формування наноструктурованих елементів методом реактивного іонно-плазмового синтезу в багатофункціональній кластерній установці на основі модулів магнетронного, ВЧ індукційного та ВЧ ємнісного типів. Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити