Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0219U100597, 0117U004875 , Науково-дослідна робота Назва роботи Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 20-02-2019 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України Опис етапу  Отримані зразки наноструктурованих елементів, зокрема на основі вуглецевих нанотрубок. Визначені фізико-технологічні характеристики отриманих нанорозмірних елементів. Визначені оптимальні технологічні параметри формування наноструктур. Розроблені рекомендації стосовно технології формування наноструктурованих елементів. Опис продукції Розроблена технологія формування наноструктурованих елементів методом реактивного іонно-плазмового синтезу в багатофункціональній кластерній установці на основі модулів магнетронного, ВЧ індукційного та ВЧ ємнісного типів. Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки
Керівник: Бажин Анатолій Іванович. Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки. (Етап: ). Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України. № 0219U100597
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-18


Роздрукувати цю сторінку