Реєстраційний номер
0219U102097,
0117U004457
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Перетворювачі фізичних величин на основі напівпровідникових мікро- і наноструктур як елементи мікросистемної техніки інформаційно-вимірювальних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
19-12-2019
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
На основі виявлених фізичних ефектів та закономірностей, отриманих в результаті комплексного дослідження властивостей напівпровідникових мікро- і наноструктур кремнію та сполук А3В5 за температури 4,2 К і магнітному полі до 14 Тл, розроблено перетворювачі фізичних величин: чутливий елемент мікроелектронного сенсора магнітного поля; датчик гідростатичного тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів GaSb; багатофункційний датчик для вимірювання температури, деформації і магнітного поля, а також розроблено інформаційно-вимірювальну систему з використанням датчиків механічних величин на основі ниткоподібних кристалів кремнію. Упровадження розроблених перетворювачів фізичних величин сприятиме розвитку галузі сенсорики.
Опис продукції
Чутливий елемент багатофункційного датчика складається з трьох сенсорів: температури, створеного на основі Si р-типу провідності, а також деформації і магнітного поля – на основі ниткоподібних кристалів Ge n- і р-типу провідності, відповідно. Запропонована конструкція датчика з використанням в якості сенсора температури ниткоподібного кристала Si р-типу провідності, легованих бором до концентрацій в околі переходу метал–діелектрик, забезпечує можливість точної кількісної оцінки температури та її впливу на залежності тензочутливості та температурної чутливості до магнітного поля. Чутливість термочутливого елемента до вимірювання температури в зазначеному інтервалі становить 0,42 Ом*К-1. Використання ниткоподібних кристалів Ge р- і n-типу провідності провідності дозволяє розділити сигнали при вимірюванні деформації та магнітного поля, а використання в якості сенсора магнітного поля НК InSb n-типу провідності з концентрацією олова 2*1017 см-3 дозволяє підвищити чутливість сенсора до 700% в діапазоні магнітних полів до 10 Тл.
Автори роботи
Буджак Ярослав Степанович
Гарасим Ірина Данилівна
Кутраков Олексій Петрович
Лук'янченко Антон Вікторович
Лях-Кагуй Наталія Степанівна
Мазур Валерія Юріївна
Малик Орест Петрович
Нічкало Степан Ігорович
Островський Ігор Петрович
Пасинкова Олена Андріївна
Пошивак Олександр Романович
Ховерко Юрій Миколайович
Щербань Наталія Олексіївна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
