Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0222U004636, 0119U103449 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Метрологічне забезпечення нановимірювань

Керівник роботи

Квасніков Володимир Павлович, Доктор технічних наук

Дата реєстрації

22-09-2022

Організація виконавець

Національний авіаційний університет

Опис

 Об’єктом дослідження є засоби вимірювання механічних величин, побудовані за принципами скануючої зондової мікроскопії для вивчення особливостей рельєфу поверхні об’єктів у нанометровому діапазоні та програмно-апаратні засоби розпізнавання, обробки та візуалізації вимірювальної інформації. Метою проекту є розробка та впровадження методів, засобів та систем вимірювання механічних нановеличин з урахуванням впливу зовнішніх дестабілізуючих факторів, визначенням складових похибок вимірювання, їх автокомпенсації з використанням прецизійних засобів вимірювальної техніки, побудова інтелектуального вимірювального комплексу, що забезпечить підвищення метрологічних характеристик нановимірювань. Методи дослідження. При розв’язанні поставленої задачі використані методи, що основані на теорії вимірювальних систем та скануючої зондової мікроскопії, методах імітаційного моделювання та програмно-математичного забезпечення. Результатом роботи є створення метрологічного забезпечення нановимірювань, що включає в себе розробку стандартів підприємства по оптимальному вибору засобів вимірювання геометричних параметрів об’єктів у нанометровому діапазоні, розробка методик їх вимірювання, розробка нових та вдосконалення існуючих засобів і способів нановимірювань з підвищеною точністю, швидкодією та з компенсацією впливу зовнішніх дестабілізуючих факторів, розробка нових методів вимірювання геометричних параметрів нано-об’єктів із складною просторовою поверхнею, які базуються на координатно-нульовому принципі реалізації процесу вимірювання та на поелементному обході траєкторії деталі з побудовою тривимірного зображення з мінімальною похибкою вимірювання в умовах дії дестабілізуючих факторів.

Опис продукції

Автори роботи

Катаєва Марія Олександрівна
Стахова Анжеліка Петрівна
Філоненко Сергій Федорович
Шелуха Олексій Олегович
Шкварницька Тетяна Юріївна
Юрчук Аліна Олександрівна