Реєстраційний номер
0223U001316,
0121U111398
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка високоефективного інжектора іонів берилію, його впровадження в іонний імплантер та відпрацювання технології інфрачервоних фотоприймачів для систем наведення
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Батурін Володимир Андрійович, Кандидат фізико-математичних наук
Дата реєстрації
27-01-2023
Організація виконавець
Інститут прикладної фізики Національної академії наук України
Опис етапу
Розроблено недорогий, надійний та універсальний інжектор іонів берилію на основі розпилювального пеннінгівского джерела металевих чи газових іонів; Інжектор іонів берилію впроваджено в іонний імплантер MPB-202 фірми “BALZERS” Інституту фізики напівпровідників. Проведено серію експериментів по імплантації іонів берилію з енергією Е1 = 40 кеВ і Е2 =120 кеВ в антимонід стільбену, та виготовлено фотодіод з p-n переходом в інфрачервоному спектрі. Розмір активної області фотодіода 1,3 мм; Розроблена технологічна карта виготовлення фотодіодних структур на основі антимоніду індію.
Опис продукції
Автори роботи
Єрьомін Сергій Олександрович
Батурін Володимир Андрійович
Карпенко Олександр Юрійович
Косуля Олександр Валерійович
Литвинов Петро Олексійович
Пустовойтов Сергій Олександрович
Роєнко Олег Юрійович
Собор Юрій Григорович
Шутько Валерій Олександрович
Додано/оновлено в НРАТ
2023-01-27
