Реєстраційний номер
0223U004944,
(0123U103735)
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення технології нанокомпозитного матеріалу для високоефективного поглинання електромагнітного випромінювання
Назва етапу роботи
Розроблення технологічних процесів отримання нанокомпозит них плівок FexOy(Fe)SiOx методами іонноплазмового та магнетронног о осадження.
Керівник роботи
Євтух Анатолій Антонович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
10-12-2023
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Опис роботи
Основною метою проекту є розроблення технології отримання високоефективного широкосмугового поглинача електромагнітного(мікрохвильового) випромінення на основі нанокомпозитних плівок FexOy(Fe)SiOx для захисту електронної апаратури та людей при застосуванні в системах безпеки, військовій справі та охорони здоров’я.
Опис етапу
Звіт подається в одному томі: 70 с., 29 рис, 4 табл., 68 джерел.
Ключові слова: ІОННО-ПЛАЗМОВА ТЕХНОЛОГІЯ, ЕЛЕКТРОПРОВІДНІСТЬ, НАНОВКЛЮЧЕННЯ ЗАЛІЗА ТА КРЕМНІЮ, НАНОКОМПОЗИТНІ ПЛІВКИ, ОКСИДНІ МАТРИЦІ, СТРУКТУРА ТА СКЛАД, ТЕХНОЛОГІЇ, ТЕРМІЧНІ ВІДПАЛИ, ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ.
Обєкт дослідження – іонно-плазмова технологія отримання і структурні та електричні властивості нанокомпозитних плівок FexOy(Fe)SiOx, що містять нановключення заліза в оксидній матриці.
Мета проекту - розроблення технології отримання високоефективного широкосмугового поглинача електромагнітного (мікрохвильового) випромінення на основі нанокомпозитних плівок FexOy(Fe)SiOx для захисту електронної апаратури та людей при застосуванні в системах безпеки, військовій справі та охорони здоров’я.
В результаті виконання даного етапу прєкту розроблені технологічні процеси осадження нанокомпозитних плівок FexOy(Fe)SiOx методом іонно-плазмового напилення, отримані плівки в різних технологічних режимах і досліджені їх структурні та електричні властивості.
В процесі розробки технологічних процесів встановлені основні фіксовані параметри технологічного процесу отримання нанокомпозитних плівок FexOy(Fe)SiOx методом іонно-плазмового осадження, розроблена та виготовлена оригінальна мішень для напилення плівок FexOy(Fe)SiOx з різним співвідношенням заліза та кремнію. Отримані та досліджені експериментальні зразки з плівками FexOy(Fe)SiOx зі зміною співвідношення Fe/Si при фіксованій товщині та співвідношенні O2/Ar, зі зміним співвідношення O2/Ar при фіксованих товщині та відношенні Fe/Si, зі зміною товщиною при фіксованому відношенні Fe /Si та O2 /Ar.
Встановлена пропорційна залежність вмісту Fe в плівці від відношення залізної та кремнієвої частин мішені при їх осадженні, що дає змогу контрольовано змінювати склад плівки.
Встановлено, що структурно-фазові трансформації нанокомпозитних плівок FexOy(Fe)SiOx вже починаються при температурі відпалу Т = 300 С.
Встановлені механізми електронного транспорту.
Опис продукції
Автори роботи
Євтух Анатолій Антонович
Антонін Сергій Володимирович
Братусь Олег Леонідович
Войтович Марія Володимирівна
Кизяк Анатолій Юрійович
Мурий Ярослав Юрійович
Пилипова Ольга Вікторівна
Додано/оновлено в НРАТ
2026-06-23
