Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0224U001992, 0121U110283 , Науково-дослідна робота Назва роботи Низькотемпературне формування нанорозмірних плівкових матеріалів з ефектом пам'яті форми для сучасних мікроелектромеханічних систем Назва етапу роботи Керівник роботи Орлов Андрій Костянтинович, Дата реєстрації 03-02-2024 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис етапу Мета роботи. Встановлення закономірностей низькотемпературного дифузійного фазоутворення в плівкових композиціях Ni/Ti з ефектом пам’яті форми в залежності від фізико-технологічних параметрів осадження та термічної обробки, а також наявності додаткових проміжних шарів та збільшення кількості внутрішніх границь розділу між нанорозмірними шарами Ni та Ti. Основні результати. Встановлено закономірності термічно-індукованого формування структури, фазового складу і властивостей плівкових матеріалів на основі системи Ni/Ti, які полягають у наступному: • визначено закономірності фазоутворення в системі Ni/Ti з різним періодом модуляції (товщиною) та різною кількістю границь розділу (від однієї до трьох) при збереженні загальної товщини системи (60 нм); • визначено вплив періоду модуляції в системі Ni/Ti з різною кількістю шарів на температурні залежності питомого електроопору; • встановлено послідовність формування фаз та температурні інтервали їх стабільності в залежності від середовища термічної обробки, яка проводилася у вакуумі та аргоні; • з використанням структурних методів досліджено зміну напруженого стану в системі Ni/Ti з різним періодом модуляції та кількістю наношарів; показано, що збільшення кількості внутрішніх границь розділу між металевими шарами дозволяє зменшити величину залишкових макронапружень 1-го роду; • використання синхротронного випромінювання дозволило вперше показати, що збільшення кількості внутрішніх інтерфейсів дозволяє ефективно впливати на окиснений стан Ti на вільній поверхні; • визначено вплив додаткових шарів металів (Ag, Cu) на закономірності дифузійного фазоутворення в бінарній системі Ni/Ti; вперше показано, що додавання проміжного шару Ag не лише запобігає структурній аморфізації на інтерфейсі між Ni та Ti і сприяє формуванню інтерметалідних фаз. Опис продукції Автори роботи Бурмак Андрій Петрович Круглов Іван Олександрович Лесик Дмитро Анатолійович Могилко Владислав Віталійович Додано в НРАТ 2024-02-03 Закрити