Реєстраційний номер
0224U001992,
0121U110283
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Низькотемпературне формування нанорозмірних плівкових матеріалів з ефектом пам'яті форми для сучасних мікроелектромеханічних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Орлов Андрій Костянтинович,
Дата реєстрації
03-02-2024
Організація виконавець
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського"
Опис етапу
Мета роботи. Встановлення закономірностей низькотемпературного дифузійного фазоутворення в плівкових композиціях Ni/Ti з ефектом пам’яті форми в залежності від фізико-технологічних параметрів осадження та термічної обробки, а також наявності додаткових проміжних шарів та збільшення кількості внутрішніх границь розділу між нанорозмірними шарами Ni та Ti.
Основні результати. Встановлено закономірності термічно-індукованого формування структури, фазового складу і властивостей плівкових матеріалів на основі системи Ni/Ti, які полягають у наступному:
• визначено закономірності фазоутворення в системі Ni/Ti з різним періодом модуляції (товщиною) та різною кількістю границь розділу (від однієї до трьох) при збереженні загальної товщини системи (60 нм);
• визначено вплив періоду модуляції в системі Ni/Ti з різною кількістю шарів на температурні залежності питомого електроопору;
• встановлено послідовність формування фаз та температурні інтервали їх стабільності в залежності від середовища термічної обробки, яка проводилася у вакуумі та аргоні;
• з використанням структурних методів досліджено зміну напруженого стану в системі Ni/Ti з різним періодом модуляції та кількістю наношарів; показано, що збільшення кількості внутрішніх границь розділу між металевими шарами дозволяє зменшити величину залишкових макронапружень 1-го роду;
• використання синхротронного випромінювання дозволило вперше показати, що збільшення кількості внутрішніх інтерфейсів дозволяє ефективно впливати на окиснений стан Ti на вільній поверхні;
• визначено вплив додаткових шарів металів (Ag, Cu) на закономірності дифузійного фазоутворення в бінарній системі Ni/Ti; вперше показано, що додавання проміжного шару Ag не лише запобігає структурній аморфізації на інтерфейсі між Ni та Ti і сприяє формуванню інтерметалідних фаз.
Опис продукції
Автори роботи
Бурмак Андрій Петрович
Круглов Іван Олександрович
Лесик Дмитро Анатолійович
Могилко Владислав Віталійович
Додано/оновлено в НРАТ
2024-02-03
