Реєстраційний номер
0302U001507,
0101U003490
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Дослідження процесів утворення та властивостей РЗМ легованих плівок на основі вуглецю
Назва етапу роботи
Вивчення процесів іонно-плазменого осадження легованих алмазоподібних плівок. Дослідження умов низько і високотемпературних відпалів легованих плівок для утворення оптично-активних положень РЗ іонів.
Керівник роботи
Пузiков В.М.,
Дата реєстрації
12-03-2002
Організація виконавець
НДВ "Оптичнi та конструкцiйнi кристали" НТК "Iнститут монокристалiв"
Опис етапу
Вивчено процеси формування плівок карбіду кремнію в умовах осадження плазмового потоку, який генерується вакуумно-дуговим джерелом. Встановлено залежність складу плівок від енергії іонів, що осаджуються. Встановлені умови осадження нанокристалічних плівок SiC стехіометричного складу. Розроблений метод плазмового осадження плівок карбіду кремнію забезпечує нанесення плівок SiC стехіометричного складу на підкладки при кімнатній температурі зі швидкістю приблизно 20-30 нм·см-1. За даним методом вперше отримано на основі плівок карбіду кремнію нанокристалічні плівкові системи: n-SiC:Ce, n-SiC:Pr, n-SiC:Eu, n-SiC:N, n-SiC:ZnS, n-SiC:CdS, які розглядаються як перспективні плівкові матеріали для люмінесцентних, фотонних та електронних приладів.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03
