Кандидатська дисертація. Кравчина Віталій Вікторович. Одержання і властивості кремнієвих композицій, модифікованих іонно-плазмовими обробками.

Реєстраційний номер

0404U002066, Кандидатська дисертація

На здобуття

к.т.н.

Дата захисту

23-04-2004

Статус

Захищена

Назва роботи

Одержання і властивості кремнієвих композицій, модифікованих іонно-плазмовими обробками.

Здобувач

Кравчина Віталій Вікторович,

Керівник Горбань О.М.
Опонент Костенко В.Л.
Опонент Тєтєрьвова Н.О.

Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист

Херсонський державний технічний університет

Опис

Об'єкт - технологія виготовлення напівпровідникових приладів і фізичні процеси, які складають її сутність; мета - розробка процесів іонно-плазмового травлення та осадження; методи - інфрачервоної -, рентгенівської та Оже-спектрометрії, оптичної та електронної мікроскопії; новизна - вперше показано, що швидкість травлення деформованої вигином поверхні кремнію залежить від типу провідності кремнію і типу механічних напружень, розтягу або стискання, а також від їх кристалографічної спрямованості; Встановлено, що при іонно-хімічному травленні на поверхні полікристалічного кремнію утворюється від'ємний заряд з максимумом на межі поділу Si*-SiО2, а порушений шар кремнію складається з n+ шару і прилеглого шару просторового позитивного заряду; Вперше розроблено режими плазмового травлення таким чином, що відбувається селективне плазмохімічне травлення кремнію відносно SiO2 і осадження продуктів травлення на плівці фоторезисту над окисом кремнію. Осаджені продукти травлення окислюються. На окислі кремнію утворюється самосумісна локальна плівка. Утворенні плівки складаються із зерен SiО2, які мають включення з аморфного та полікристалічного кремнію; сфера використання - технологія виготовлення напівпровідникових приладів.

Дата реєстрації

2004-05-27

Додано/оновлено в НРАТ

2020-04-04 / 2026-06-30