Кандидатська дисертація. Виноградов Анатолій Олегович. Механізми струмопереносу в омічних контактах до кремнієвих мікрохвильових діодів

Реєстраційний номер

0415U001766, Кандидатська дисертація

На здобуття

к.ф.-м.н.

Дата захисту

08-04-2015

Статус

Захищена

Назва роботи

Механізми струмопереносу в омічних контактах до кремнієвих мікрохвильових діодів

Здобувач

Виноградов Анатолій Олегович,

Керівник Конакова Раїса Василівна
Опонент Марченко Олександр Анатолійович
Опонент Лев Богдан Іванович

Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис

Дисертація присвячена дослідженню механізмів струмопереносу в омічних контактах Au-Ti-Pd2Si-n-Si з великою густиною структурних дефектів на межі контактоутворення і дослідженню зростаючої температурної залежності питомого контактного опору з підвищенням температури вимірювання, а також омічних контактів Au-Ti-Pd2Si-n+-n-Si. Така залежність пояснюється механізмом протікання струму через металеві шунти, суміщені з дислокаціями, або механізмом формування омічного контакту до кремнію, зумовленим наявністю на межі поділу n+-n-Si збагачуючого вигину зон. Визначено технологічні фактори, котрі зумовлюють формування високої густини дислокацій в приконтактній області n-Si, що призводить до виникнення металевої провідності в омічному контакті.

Дата реєстрації

2015-04-17

Додано/оновлено в НРАТ

2020-04-04 / 2026-06-29