Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0497U001601, Кандидатська дисертація На здобуття Дата захисту 22-09-1997 Статус Запланована Назва роботи Исследование электрофизических свойств и радиационных эффектов в структурах кремния-на-изоляторе Здобувач Кильчицкая Валерия Игоревна, Керівник Назаров А.Н. Опонент Ширшов Ю.М. Опонент Жарких Ю.С. Опис Объект исследования: Структуры кремния-на-изоляторе. Цель исследования: Определение электрических параметров структур кремния-на-изоляторе, исследование возможных методов ослабления накопления заряда во внутренних диэлектриках при облучении. Методы исследования и аппаратура: Вольт-амперные, вольт-фарадные характеристики, динамическая крутизна, токи термостимулированной поляризации/деполяризации. Практические результаты и новизна: ВЧ плазменная обработка позволяет значительно ослабить накопление заряда в толтом внутреннем окисле КНИ структур; метод зонной лазерной перекристаллизации поликремния позволяет создавать КНИ структуры с многослойными внутренними диэлектриками, которые по своим электрическим свойствам не уступают структурам с внутренним окислом. Предмет и степень внедрения: Внутренний многослойный диэлектрик, ВЧ плазменная обработка. Сфера (область) использования: Микроэлектроника. Дата реєстрації 1997-09-22 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити