Search academic texts

Information × Registration Number 0497U001601, Candidate dissertation Status Date 22-09-1997 popup.evolution o Title Author Кильчицкая Валерия Игоревна, popup.head Назаров А.Н. popup.opponent Ширшов Ю.М. popup.opponent Жарких Ю.С. Description Объект исследования: Структуры кремния-на-изоляторе. Цель исследования: Определение электрических параметров структур кремния-на-изоляторе, исследование возможных методов ослабления накопления заряда во внутренних диэлектриках при облучении. Методы исследования и аппаратура: Вольт-амперные, вольт-фарадные характеристики, динамическая крутизна, токи термостимулированной поляризации/деполяризации. Практические результаты и новизна: ВЧ плазменная обработка позволяет значительно ослабить накопление заряда в толтом внутреннем окисле КНИ структур; метод зонной лазерной перекристаллизации поликремния позволяет создавать КНИ структуры с многослойными внутренними диэлектриками, которые по своим электрическим свойствам не уступают структурам с внутренним окислом. Предмет и степень внедрения: Внутренний многослойный диэлектрик, ВЧ плазменная обработка. Сфера (область) использования: Микроэлектроника. Registration Date 1997-09-22 popup.nrat_date 2020-05-17 Close