Стаття. Кравченко Ю. С.. Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології Оптический актинометрический метод контроля плазмохимических процессов в микроэлектронной технологии Optical axonometric plasma-chemical control method processes in microelectronic technology