Реєстраційний номер
0209U002760,
0107U005196
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення та створення сучасної нанотехнологічної лабораторної лінії з виготовлення наноструктурних елементів на базі російсько-українського технологічного модуля Nanofab
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Галстян Георг Гагікович,
Дата реєстрації
13-03-2009
Організація виконавець
Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука"
Опис етапу
Створені базові блоки нанотехнологічного комплексу, до яких надалі можуть бути пристиковані інші необхідні технологічні модулі: модуль скануючої зондової мікроскопії (СЗМ) + модуль сфокусованих іонних пучків (ФІП), модуль молекулярно - променевої епітаксії (МЛЕ) та ін. Створений в ході виконання даної НДР технологічний комплекс може буде використаний для розробки і виготовлення нових зразків мікроелектронних пристроїв (3-х вимірні схеми, двічі-інтегровані схеми на основі напівпровідникових сполук групи A3B5, схеми на основі мезо- і наноструктур шаруватих надпровідників і провідників з хвилею зарядової щільності, схеми на кристалах алмазу, інтегровані вироби нано- і мікромеханіки з вбудованими сенсорами, системами обробки і передачі сигналу).
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
