Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U000738, 0109U000569 , Науково-дослідна робота Назва роботи Встановлення кореляції між параметрами структурних елементів плівки та реальною температурою, виникаючою на поверхні росту в процесі її осадження магнетронним розпиленням Назва етапу роботи Керівник роботи Шагінян Леонід Робертович, Дата реєстрації 19-03-2010 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України Опис етапу Проведено дослідження структури плівок Cr, Ti, Мо методом электронної мікроскопії та електронографії. Доведено, що причиною формування градієнтної структури плівки вздовж товщини являється зміна температури поверхні конденсації в процесі росту плівки. Показано, що структура плівки є функцією потоку енергії, яка приноситься на поверхню росту. Запропонована модель структури плівки, як функції потоку енергії на поверхню конденсації та відносної температури Tsurf/Тm. Модель дозволяє прогнозувати ймовірний тип структури плівки. Опис продукції Проведено дослідження структури плівок Cr, Ti, Мо методом электронної мікроскопії та електронографії. Доведено, що причиною формування градієнтної структури плівки вздовж товщини являється зміна температури поверхні конденсації в процесі росту плівки. Показано, що структура плівки є функцією потоку енергії, яка приноситься на поверхню росту. Запропонована модель структури плівки, як функції потоку енергії на поверхню конденсації та відносної температури Tsurf/Тm. Модель дозволяє прогнозовати ймовірний тип структури плівки. Автори роботи Даниленко М.І. Куліковський В. Ю. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити