Реєстраційний номер
0212U004466,
0111U001226
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка наукових основ і технологічних методів створення перетворювачів на базі мікро і наноструктур кремнію для інформаційних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
14-02-2012
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Проведено аналітичний огляд літератури щодо методики вирощування регулярних ансамблів нанониток Si і Si1-хGeх та електрофізичних і механічних властивостей нанотрубок і нанодротів (НД). На сьогодні існує потреба в розробленні енергетично низькозатратних і дешевих технологій одержання наноструктур Sі. Створено установку для вирощування НД кремнію та вивчення особливостей росту їх ансамблів методом хімічної газофазової епітаксії у відкритій транспортній системі для застосування в наноелектромеханічних пристроях. Дослідження впливу деформації на провідність і магнітоопір НК Si легованих поблизу переходу метал-діелектрик (ПМД) за низьких температур підтвердили існування стрибкової провідності з енергіями Е2 та Е3. За температури 4,2 К при деформації стиску в НК Si виявлено гігантський п'єзоопір, зумовлений зміною механізму п'єзоопору з класичного на "некласичний", що пояснюється провідністю по локалізованих станах носіїв заряду. Для дослідження електрофізичних властивостей структур полікремнію на ізоляторі та оцінки внеску в провідність розміру зерна, поверхні та міжзеренних границь було використано імпедансний метод.
Опис продукції
За рахунок проведеного моделювання аксіального та радіального росту мікро- і нанорозімірних ниткоподібних кристалів кремнію та твердого розчину Si-Ge за механізмом пара-рідина-кристал та серії експериментів з їх вирощування у відкритій проточній системі підібрано оптимальні технологічні режими одержання регулярних ансамблів нанокристалів на основі кремнію заданого діаметра методом газофазної епітаксії .
Автори роботи
Бережанський Є. І.
Гарасим І.Д.
Гвоздик Р.І.
Дружинін А. О.
Когут Ю. Р.
Корецький Р.М.
Кромпец Р.С.
Кутраков О.П.
Лях-Кагуй Н. С.
Нічкало С.І.
Островський І. П.
Стасюк Н. М.
Ховерко Ю. М.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
