Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0213U004553, 0112U000894 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Розробка та дослідження газорозрядного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Денбновецький Станіслав Володимирович,

Дата реєстрації

16-12-2013

Організація виконавець

Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ"

Опис етапу

Проведено аналіз властивостей високовольтного тліючого та вакуумно-дугового розрядів та визначено особливості розробки на основі пристроїв цих розрядів технологічного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів в контрольованому за тиском та складом газовому середовищі. З урахуванням визначених особливостей технологічного процесу імпульсного іонно-плазмового осадження покриттів розоблено газорозрядний електронно-променевий комплекс, до складу якого входить газорозрядна електронна гармата тріодного типу потужністю 10 кВт, вакуумно-дуговий іонізатор пари та система автоматичного керування енергетичними та часовими параметрами газорозрядної гармати. Розроблений газорозрядний комплекс забезпечує можливість імпульсного іонно-плазмового осадження покриттів в діапазоні параметрів, які відповідають вимогам технології осадження покриттів методом імпульсного електронно-променевого випаровування.

Опис продукції

З використанням розроблених в роботі математичних моделей створене газорозрядне обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів із хімчних сполук, до складу якого входить тріодна електронна гармата високовольтного тліючого розряду з холодним катодом, дуговий іонізатор парогазового потоку та система автоматичного керування параметрами гармати в імпульсному режимі роботи.

Автори роботи

Кузьмичев Анатолій Іванович
Мельник Ігор Віталійович
Мельник Віталій Гнатович
Тугай Борис Андрійович
Тугай Сергій Борисович