Реєстраційний номер
0215U000162,
0114U000771
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Борисенко Анатолій Григорович,
Дата реєстрації
28-01-2015
Організація виконавець
Інститут ядерних досліджень НАН України
Опис етапу
Досліджено нову модифікацію геліконного розряду, який збуджується в магнітному полі за допомогою лінійної індукційної антени. Визначена хвильова природа збуджуваного розряду. Досліджено просторовий розподіл високочастотних магнітних полів збуджуваних хвиль, основні параметри створюваної плазми та розподіл іонів плазми за енергією. Показано, що існують режими розряду, при яких концентрація плазми може бути близької до однорідною вздовж значної частини антени. Запропоновано зручну в реалізації компоновку розряду з лінійною антеною, зануреною в плазму. Отримані дані свідчать про здатність даної розрядної системи створювати плазму з високою однорідністю вздовж антени та про перспективність подальших досліджень можливостей її використання при розробці нового плазмово-технологічного обладнання для однорідної обробки великих поверхонь.
Опис продукції
Розроблений метод використовує високочастотну збуджуючу антену нової геометрії і дозволяє створювати однорідну вздовж антени плазму
Автори роботи
Бєлошенко Микита Анатолійович
Вірко Валерій Федорович
Вірко Юрій Валерійович
Слободян Вячеслав Михайлович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
