Реєстраційний номер
0217U006100,
0116U006714
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Дослідження впливу технологічних чинників на параметри кремнієвих нановіскерів, створених методом метал-каталітичного хімічного травлення
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
10-02-2017
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Представлено результати експериментів по створенню кремнієвих нановіскерів методом MacEtch. Продемонстровано модифікування методу MacEtch з використанням наносферної літографії для отримання масивів нановіскерів Si різного діаметра. Представлено результати досліджень поверхні кремнієвих підкладок методом вторинної іонної мас-спектроскопії. Досліджено вплив відстані між нановіскерами та їх діаметра на фотоелектричні параметри структур на їх основі.
Опис продукції
Науково-технічна продукція являє собою зразки кремнієвх підкладок з масивом нановіскерів Si різного діаметра, отриманих методом метал-каталітичного хімічного травлення, які володіють високою абсорбцією сонячного свтіла
Автори роботи
Гарасим Ірина Данилівна
Корецький Роман Миколайович
Нічкало Степан Ігорович
Островський Ігор Петрович
Ховерко Юрій Миколайович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02