Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0218U001431, 0117U004855 , Науково-дослідна робота Назва роботи Фізичні принципи іонно-плазмового синтезу та керування властивостями наноструктурних складнокомпозиційних покриттів Назва етапу роботи Керівник роботи Лісовський Валерій Олександрович, Дата реєстрації 13-03-2018 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу У даній роботі проведено дослідження параметрів синтезу тонких плівок диборида танталу, отриманих в системах ВЧ і ПС-магнетронного розпорошення. Зроблено порівняльний аналіз енергетичних умов синтезу цих плівок. Показано, що в залежності від методу використовуваного для отримання плівки (ВЧ або ПС), істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, які беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки, що призводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного з текстурою зростання перпендикулярною площині (001). Опис продукції Зроблено порівняльний аналіз енергетичних умов синтезу плівок диборида танталу, отриманих в системах ВЧ і ПС магнетронного розпорошення. Показано, що в залежності від методу використовуваного для отримання плівки (ВЧ або ПС), істотно змінюється кількість і енергія іонів та нейтральних частинок, які беруть участь в осадженні і формуванні плівки на поверхні підкладки, що призводить до формування покриттів в різних структурних станах від аморфноподібного до нанокристалічного з текстурою зростання перпендикулярною площині (001). Автори роботи В.О. Лісовський М.М. Юнаков О.В. Зиков О.М. Дахов С.В. Дудін С.Д. Яковін Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити