Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0219U102097, 0117U004457 , Науково-дослідна робота Назва роботи Перетворювачі фізичних величин на основі напівпровідникових мікро- і наноструктур як елементи мікросистемної техніки інформаційно-вимірювальних систем Назва етапу роботи Керівник роботи Дружинін Анатолій Олександрович, Дата реєстрації 19-12-2019 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу На основі виявлених фізичних ефектів та закономірностей, отриманих в результаті комплексного дослідження властивостей напівпровідникових мікро- і наноструктур кремнію та сполук А3В5 за температури 4,2 К і магнітному полі до 14 Тл, розроблено перетворювачі фізичних величин: чутливий елемент мікроелектронного сенсора магнітного поля; датчик гідростатичного тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів GaSb; багатофункційний датчик для вимірювання температури, деформації і магнітного поля, а також розроблено інформаційно-вимірювальну систему з використанням датчиків механічних величин на основі ниткоподібних кристалів кремнію. Упровадження розроблених перетворювачів фізичних величин сприятиме розвитку галузі сенсорики.  Опис продукції Чутливий елемент багатофункційного датчика складається з трьох сенсорів: температури, створеного на основі Si р-типу провідності, а також деформації і магнітного поля – на основі ниткоподібних кристалів Ge n- і р-типу провідності, відповідно. Запропонована конструкція датчика з використанням в якості сенсора температури ниткоподібного кристала Si р-типу провідності, легованих бором до концентрацій в околі переходу метал–діелектрик, забезпечує можливість точної кількісної оцінки температури та її впливу на залежності тензочутливості та температурної чутливості до магнітного поля. Чутливість термочутливого елемента до вимірювання температури в зазначеному інтервалі становить 0,42 Ом*К-1. Використання ниткоподібних кристалів Ge р- і n-типу провідності провідності дозволяє розділити сигнали при вимірюванні деформації та магнітного поля, а використання в якості сенсора магнітного поля НК InSb n-типу провідності з концентрацією олова 2*1017 см-3 дозволяє підвищити чутливість сенсора до 700% в діапазоні магнітних полів до 10 Тл. Автори роботи Буджак Ярослав Степанович Гарасим Ірина Данилівна Кутраков Олексій Петрович Лук'янченко Антон Вікторович Лях-Кагуй Наталія Степанівна Мазур Валерія Юріївна Малик Орест Петрович Нічкало Степан Ігорович Островський Ігор Петрович Пасинкова Олена Андріївна Пошивак Олександр Романович Ховерко Юрій Миколайович Щербань Наталія Олексіївна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити