Реєстраційний номер
0219U102201,
0119U102844
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Нові плазмонні наноматеріали на основі латерально-впорядкованих структур благородних металів для точного експрес-аналізу високомолекулярних сполук методом спектроскопії поверхнево-підсиленого раманівського розсіювання світла
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Данько Віктор Андрійович, Кандидат фізико-математичних наук
Дата реєстрації
21-12-2019
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Звіт про НДР «Нові плазмонні наноматеріали на основі латерально-впорядкованих структур благородних металів для точного експрес-аналізу високомолекулярних сполук методом спектроскопії поверхнево-підсиленого раманівського розсіювання світла. Етап № 1. Встановлення закономірностей формування рельєфно-фазових плазмонних структур із заданими параметрами та оптимізація технологічних процесів інтерференційної літографії для їх виготовлення»: стор. 45, рис. 18, табл. 2.
Об’єкт дослідження: Технологія виготовлення SERS-підкладок для детектування високомолекулярних сполук в субмолярній концентрації.
Мета проекту: Встановлення закономірностей формування і виготовлення латерально-впорядкованих масивів наноструктур благородних металів (SERS-підкладок), сформованих на скляних і кремнієвих підкладках методом інтерференційної фотолітографії, а також вивчення їх морфологічних, оптичних і електричних властивостей для розробки нових плазмонних наноматеріалів, що дозволяють швидко детектувати високомолекулярні сполуки в субмолярной концентрації і аналізувати їх структуру з використанням спектроскопії поверхнево-підсиленого раманівського розсіювання світла.
На основі результатів числового моделювання та експериментальних досліджень були оптимізовані технологічні процеси інтерференційної фотолітографії з використанням халькогенідних фоторезистів для виготовлення SERS-підкладок.
Створені оптичні схеми для інтерференційної літографії таких структур, оснастка для нанесення халькогенідного фоторезисту, адгезійного та плазмон-підтримуючого шару, стенд для прецизійного визначення просторової частоти періодичних структур на поверхні SERS-підкладок, методику характеризації одномірної періодичної плазмонної структури.
Виготовлені макетні зразки SERS – підкладок.
Ключові слова: Спектроскопія поверхнево-підсиленого раманівського розсіювання світла, SERS-підкладки, інтерференційна літографія, вакуумні халькогенідні фоторезисти.
Опис продукції
Макетний зразок SERS підкладок з просторовими частотами від 670-4000 ліній/мм та глибиною модуляції від 0.1-0.4.
Автори роботи
Індутний Іван Захарович
Луканюк Марія Василівна
Минько Віктор Іванович
Сопінський Микола Вікторович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
