Реєстраційний номер
0221U104527,
0120U102202
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення наукових і технологічних основ створення елементів мікро- і наносистемної техніки на основі базових сенсорних напівпровідникових кристалів та наноструктур
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович, Доктор технічних наук
Дата реєстрації
29-03-2021
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Вдосконалено методики отримання експериментальних зразків ниткоподібних кристалів і наноструктур (Si, SiGe, InSb, InAs) заданого складу, морфології поверхні, стехіометрії, рівня легування та геометричних розмірів. Встановлено вплив особливостей структури отриманих зразків на їх основні електрофізичні характеристики. Упровадження методик отримання ниткоподібних кристалів і наноструктур з наперед заданими властивостями уможливлює створення на їх основі високочутливих сенсорів та перетворювачів фізичних величин, що сприятиме розвитку галузі сенсорики.
Опис продукції
Автори роботи
Буджак Ярослав Степанович
Кутраков Олексій Петрович
Лях-Кагуй Наталія Степанівна
Мазур Валерія Юріївна
Нічкало Степан Ігорович
Островський Ігор Петрович
Темірова Олена Хадзіметівна
Ховерко Юрій Миколайович
Щербань Наталія Олексіївна
Додано/оновлено в НРАТ
2021-03-29
