Реєстраційний номер
0222U000043,
0121U111036
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Комп'ютерний дизайн, синтез і теплотранспортні властивості кремнієвих наноструктур для енергоефективних застосувань
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Курилюк Василь Васильович, Кандидат фізико-математичних наук
Дата реєстрації
02-01-2022
Організація виконавець
Київський національний університет імені Тараса Шевченка
Опис етапу
Об’єкт дослідження: Кремнієві мультишарові структури різної морфології.
Мета роботи: синтез мультишарових структур поруватого кремнію та дослідження їх теплопровідності під дією температурного відпалу.
Методи дослідження: електрохімічне травлення, растрова електронна мікроскопія, інфрачервона спектроскопія, спектроскопія відбивання, фототермоакустичні вимірювання.
Методом електрохімічного травлення синтезовано мультишарові структури пористого кремнію. Анодування кремнію в періодичному режимі з
короткочасними вимкненнями струму дозволило створити однорідні за глибиною структури довільної товщини.
За допомогою растрової електронної мікроскопії та спектроскопії відбивання показано, що формується мультишаровий пористий кремній з різкими планарними інтерфейсами між шарами. Встановлено, що наявність інтерфейсів не впливає на процес формування пористого кремнію, а для синтезу
мультишарових пористих структур можна використовувати режими, що були відпрацьовані для отримання одношарового пористого кремнію.
Експериментально досліджено коефіцієнти теплопровідності мультишарових структур поруватого кремнію. Виявлено зменшення величини теплопровідності мультишарових структур у порівнянні з моношаровими структурами такої ж пористості. Показано, що основною причиною зменшення теплопровідності є присутність граничного теплового опору на інтерфейсах між поруватими шарами кремнію з різною поруватістю в мультишаровій структурі.
Досліджено вплив термічного відпалу на теплові властивості мультишарових структур поруватого кремнію. Виявлено, що зменшення коефіцієнтів теплової дифузії та теплопровідності у таких структурах до 2 разів, відбувається лише при довготривалому процесі відпалу.
Опис продукції
Автори роботи
Дубик Катерина Володимирівна
Семчук Святослав Семенович
Чорний Роман Мирославович
Шевченко Вікторія Богданівна
Додано/оновлено в НРАТ
2022-03-09
