Реєстраційний номер
0108U003194,
(
0214U008060
0214U008061
0214U008062
0214U008063
0214U008064
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення і створення методів імпульсної лазерної спектроскопії та устаткування для контролю атомного складу матеріалів та структур наноелектроніки
Керівник роботи
1. Федоренко Леонід Леонідович; 2. Тетьоркін Володимир Володимирович,
Дата реєстрації
16-11-2009
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис роботи
Розробка методів діагностики компонентного складу субмікронних шарівнапівпровідників, напівпровідникових наноструктур і нано-композитних матеріалів із нанометровою просторовою роздільною здатністю для визначення профілю концентрацій складових хімічних елементів (Si, Ge, Te, C, N, P, S, Cr, Mn, Mg, As, Cd, In, Sn, Sb, Pb, Zn, Ga, B, O, Al,Ti, Fe) твердих тіл на субмікронних глибинах; створення на базі розроблених методів системи пікосекундної лазерної імпульсної спектроскопії
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
