Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008063, 0108U003194 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення методів імпульсної лазерної спектроскопії та устаткування для контролю атомного складу матеріалів та структур наноелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Федоренко Леонід Леонідович, Тетьоркін Володимир Володимирович, Дата реєстрації 27-06-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Відпрацювання методик діагностики для кожного із хімічних елементів актуальних структур: встановлення кореляцій між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та інтенсивністю лазерного імпульсу; визначення кількісних співвідношень між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та відносним вмістом атомів в нанометрових шарах; встановлення кількісної залежності між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та глибиною видаленого шару мішені. Опис продукції Відпрацювання методик діагностики для кожного із хімічних елементів актуальних структур: встановлення кореляцій між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та інтенсивністю лазерного імпульсу; визначення кількісних співвідношень між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та відносним вмістом атомів в нанометрових шарах; встановлення кількісної залежності між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та глибиною видаленого шару мішені. Автори роботи Тетьоркін В.В. Федоренко Л.Л. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити