Реєстраційний номер
0214U008063,
0108U003194
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення і створення методів імпульсної лазерної спектроскопії та устаткування для контролю атомного складу матеріалів та структур наноелектроніки
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Федоренко Леонід Леонідович, Тетьоркін Володимир Володимирович,
Дата реєстрації
27-06-2014
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Відпрацювання методик діагностики для кожного із хімічних елементів актуальних структур: встановлення кореляцій між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та інтенсивністю лазерного імпульсу; визначення кількісних співвідношень між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та відносним вмістом атомів в нанометрових шарах; встановлення кількісної залежності між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та глибиною видаленого шару мішені.
Опис продукції
Відпрацювання методик діагностики для кожного із хімічних елементів актуальних структур: встановлення кореляцій між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та інтенсивністю лазерного імпульсу; визначення кількісних співвідношень між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та відносним вмістом атомів в нанометрових шарах; встановлення кількісної залежності між інтенсивностями ліній атомних спектрів випромінювальних переходів та глибиною видаленого шару мішені.
Автори роботи
Тетьоркін В.В.
Федоренко Л.Л.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
