Реєстраційний номер
0113U006112,
(
0214U008550
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення нанотехнологій молекулярно-променевої епітаксії та сфокусованих іонних пучків для їх використання на виробництві нанотехнологічного комплексу "НаноФАБ" (третя черга)
Керівник роботи
Галстян Геворк Гагікович,
Дата реєстрації
18-06-2014
Організація виконавець
Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука"
Опис роботи
Розроблення нанотехнологій сфокусованих іонних пучків та молекулярно-променевої епітаксії для реалізації різноманітних методик модифікації поверхні зразків (технологічних пластин): напівпровідникових сполук, матеріалів системи InAlGaN/GaN та ін. з подальшою діагностикою методами сканувальної зондової мікроскопії на базі високовакуумного нанотехнологічного комплексу "НаноФАБ".
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
