Реєстраційний номер
0115U003165,
(
0216U000571
0217U000512
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Технології формування наноструктур для електроніки, медицини та ядерної енергетики методом кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу
Керівник роботи
Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
20-02-2015
Організація виконавець
Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України
Опис роботи
Дослідження процесів реактивного іонно-плазмового синтезу нанокомпозиційних структур з комбінованих потоків заряджених і хімічно активних частинок та розробка на їх основі нової генерації технологій синтезу багатошарових функціональних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів і структур для потреб наноелектроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування.
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
