Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008304, 0114U003540 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології осадження плівок нанокристалічного карбіду кремнію для виробництва високостабільних сенсорів температури на їх основі Назва етапу роботи Керівник роботи Лопін Олександр Володимирович, Дата реєстрації 25-12-2014 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис етапу Отримані плівки нанокристалічного карбіду кремнію необхідних політипів. Вивчені оптичні та електрофізичні властивості високостабільних плівок нанокристалічного карбіду кремнію з питомим опором 100 - 100000 Ом см. Було виготовлено пілотні малоінерційні сенсори температури з динамічним діапазоном приблизно 100. Проведено дослідження електричних параметрів сенсорів температури в діапазоні 2 К - 673 К. Опір в досліджуваному інтервалі температур змінюється у 90 -110 разів. Опис продукції Отримані плівки нанокристалічного карбіду кремнію необхідних політипів. Вивчені оптичні та електрофізичні властивості високостабільних плівок нанокристалічного карбіду кремнію з питомим опором 10 2- 10- 5 Ом см. Було виготовлено пілотні малоінерційні сенсори температури з динамічним діапазоном приблизно 10 2. Проведено дослідження електричних параметрів сенсорів температури в діапазоні 2 К - 673 К. Опір в досліджуваному інтервалі температур змінюється у 90 - 110 разів. Автори роботи Козьма Володимир Олександрович Мудрова Ельвира Олександрівна Пузіков Вячеслав Михайлович Семенов Олександр Володимирович Скорик Станіслав Миколайович Шморгун Віта Петрівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити