Реєстраційний номер
0214U008304,
0114U003540
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка технології осадження плівок нанокристалічного карбіду кремнію для виробництва високостабільних сенсорів температури на їх основі
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лопін Олександр Володимирович,
Дата реєстрації
25-12-2014
Організація виконавець
Інститут монокристалів НАН України
Опис етапу
Отримані плівки нанокристалічного карбіду кремнію необхідних політипів. Вивчені оптичні та електрофізичні властивості високостабільних плівок нанокристалічного карбіду кремнію з питомим опором 100 - 100000 Ом см. Було виготовлено пілотні малоінерційні сенсори температури з динамічним діапазоном приблизно 100. Проведено дослідження електричних параметрів сенсорів температури в діапазоні 2 К - 673 К. Опір в досліджуваному інтервалі температур змінюється у 90 -110 разів.
Опис продукції
Отримані плівки нанокристалічного карбіду кремнію необхідних політипів. Вивчені оптичні та електрофізичні властивості високостабільних плівок нанокристалічного карбіду кремнію з питомим опором 10 2- 10- 5 Ом см. Було виготовлено пілотні малоінерційні сенсори температури з динамічним діапазоном приблизно 10 2. Проведено дослідження електричних параметрів сенсорів температури в діапазоні 2 К - 673 К. Опір в досліджуваному інтервалі температур змінюється у 90 - 110 разів.
Автори роботи
Козьма Володимир Олександрович
Мудрова Ельвира Олександрівна
Пузіков Вячеслав Михайлович
Семенов Олександр Володимирович
Скорик Станіслав Миколайович
Шморгун Віта Петрівна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
