Кравченко С. Ю.. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
:
публікація 2011-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2111U005532
Кравченко Ю. С.. Вимірювання та контроль температури плазми мікрозондовим методом
:
публікація 2008-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2108U003213
Кравченко Ю. С.. Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
:
публікація 2008-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2108U003203
Кравченко Ю. С.. Підвищення ефективності емісійно-спектрального контролю в плазмовій технології
Повышение эффективности эмиссионно-спектрального контроля в плазменной технологии
Improved spectral emission-control technology in plasma
:
публікація 2015-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2115U008618
Матеріали
Стаття
Кравченко Ю. С.. Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології
Оптический актинометрический метод контроля плазмохимических процессов в микроэлектронной технологии
Optical axonometric plasma-chemical control method processes in microelectronic technology
:
публікація 2014-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2114U009395
Білилівський В. М.. Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми
Multichannel recording system of the emission spectrum of nonequilibrium plasma
Многоканальная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмы
:
публікація 2011-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2111U005379
Матеріали
Стаття
Осадчук В. С.. Вольт-амперна характеристика частотного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів з активним індуктивним елементом
Voltage-current characteristic of frequency optical converter for control of plasmachemical processes with active inductive element
Вольт-амперная характеристика частотного оптического преобразователя для контроля плазмохимических процессов с активным индуктивным элементом
:
публікація 2010-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2110U004557
Матеріали
Стаття
Осадчук В. С.. Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів
Optical microelectronic converter with active inductive element for control of plasmochemical processes
Оптический микроэлектронный преобразователь с активным индуктивным элементом для контроля плазмохимических процессов
:
публікація 2009-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2109U003383
Осадчук В. С.. Мікроелектронний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів
Microelectronic optical converter for control of plasmachemical processes
Микроэлектронный оптический преобразователь для контроля плазмохимических процессов
:
публікація 2009-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2109U003375
Матеріали
Стаття
Кравченко Ю. С.. Визначення вольт-амперної характеристики частотного оптичного перетворювача для двоканального контролю плазмохімічних процесів
Determination of volt-ampere characteristic of optical converter for two-channel control of plasmachemical processes
Определение вольт-амперной характеристики частотного оптического преобразователя для двухканального контроля плазмохимических процессов
:
публікація 2009-01-01;
Вінницький національний технічний університет,
2109U003359
Оновлено: 2026-11-07